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半导体密封件

半导体行业晶圆制造(Wafer Fabrication)、晶圆测试(Wafer Probe/Sorting)、蚀刻、CMP、CVD、芯片封装(Assemble)、测试(Test)及后期成品(Finish Goods)等相关设备工艺需要使用超高纯,低污染,耐腐蚀,耐等离子(NF3)特性及压缩变形冷流功能优异的橡塑元件。

半导体产业零部件先进新材料包括 Kalrez® FFKM(全氟醚橡胶), VICTREX PEEK(聚醚醚酮),DAIKIN PCTFE(聚三氟氯乙烯),3M PTFE/PFA(聚四氟乙烯),Arkema PVDF(聚偏氟乙烯)等,满足符合SEM F57等行业标准和领域认证,最大程度提高关键半导体制程的良率。其中典型应用包括阀门O型圈,门密封,CMP支撑环,腔室密封等元件。

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